Ditirišo tše di Itšego tša Dihlwekiši tša Plasma

Mechine ya go hlwekiša/go etsa plasma e tšweletša plasma ka go bea di-electrode tše pedi ka gare ga sebjana seo se tswaletšwego go hlola tšhemo ya mohlagase. Pompo ya lefeela e šomišwa go boloka maemo a itšego a lefeela. Ge kgase e dutše e oketšega ka sewelo, sekgala magareng ga dimolekule le go sepela ka bolokologi ga dimolekule goba di- ion le sona se a oketšega. Ka tlase ga tutuetšo ya tšhemo ya mohlagase, di- ion tše di a thulana gomme tša bopa plasma. Di- ion tše di arabela kudu, di na le matla a lekanego go kgaola mo e nyakilego go ba ditlemo ka moka tša dikhemikhale, di hlohleletša dikarabelo tša dikhemikhale godimo ga bokagodimo le ge e le bofe bjo bo pepentšhitšwego. Diplasma tše di fapanego tša kgase di na le dithoto tše di fapanego tša dikhemikhale. Ka mohlala, plasma ya oksitšene e oxidizing kudu, e kgona go oxidizing photoresist go tšweletša kgase, ka go rialo e fihlelela mafelelo a go hlwekiša. Corrosive khase plasma e na le anisotropy babatsehang, e leng kopana le ditlhoko tsa etching. Kalafo ya plasma e tšweletša go phadima, ke ka fao leina la go tšhollwa ga go phadima.
Mokgwa wa go hlwekiša plasma o ithekgile kudu ka "go tsenywa tirišong" ga dikarolwana tše di šomago ka plasma go tloša mabala a godimo. Mabapi le mokgwa wa karabelo, go hlwekiša plasma ka kakaretšo go akaretša tshepedišo ye e latelago: dikgase tše di sa phelego di thabelwa go ba boemong bja plasma; dilo tša kgase di monywa godimo ga bokagodimo bjo bo tiilego; dihlopha tše di monywago di arabela le dimolekule godimo ga bokagodimo bjo bo tiilego go bopa dimolekule tša setšweletšwa; dimolekule sehlahiswa bola ka mohato khase; gomme mašaledi a karabelo a tlošwa go tšwa godimo.

Sebopego se bohlokwa kudu sa thekinolotši ya go hlwekiša plasma ke gore e ka alafa mohuta le ge e le ofe wa substrate, go akaretša le ditšhipi, di- semiconductor, di-oxide le bontši bja didirišwa tša polymer tše bjalo ka polypropylene, polyester, polyimide, polyvinyl chloride, epoxy gaešita le polytetrafluoroethylene. E ka hlwekiša bobedi bokagodimo ka moka le mafelo a itšego, gammogo le dibopego tše di raraganego.